2/3″ Masinefisylenzen

2/3″masinefisylenses binne in searje lenzen mei hege resolúsje en C-mount. Se binne ûntworpen foar in sensor oant 2/3-inch en leverje in hoekesichtfjild mei lege ferfoarming.

Dizzemasinefisylenses kinne brûkt wurde om healgeleiders te ynspektearjen. Yn kombinaasje mei oare ûnderdielen fan masinefisysystemen brûke se djip ultraviolet ljocht om wafers en maskers te ynspektearjen om de nedige hege snelheid en resolúsje te berikken.

Metrology en ynspeksje binne wichtich foar it behear fan it produksjeproses fan healgeleiders. Der binne 400 oant 600 stappen yn it totale produksjeproses fan healgeleiderwafers, dy't yn 'e rin fan ien oant twa moannen útfierd wurde. As der betiid yn it proses defekten foarkomme, makket al de neifolgjende ferwurking gjin sin.

It opspoaren fan defekten en it spesifisearjen fan har lokaasjes (posysjekoördinaasje) binne de primêre rol fan ynspeksjeapparatuer. Masinefisylenzen fange ferkearde of minne ûnderdielen foardat se yn gruttere gearstallingen boud wurde. Hoe earder defekte items ûntdutsen en fuorthelle wurde kinne út in produksjeproses, hoe minder ôffal yn it proses, wat de opbringst direkt ferbetteret. Yn ferliking mei manuele metoaden fan monitoaring en ynspeksje binne automatisearre masinefisysystemen mei in optyske lens fan hege kwaliteit rapper, wurkje se ûnfermindere en generearje se konsekwintere resultaten.