2/3"gépi látó lencseA nagy felbontású objektívek sorozata C-bemenettel.Legfeljebb 2/3 hüvelykes érzékelőhöz tervezték, és alacsony torzítású látószöget biztosítanak.
Ezekgépi látó lencsees használhatók a félvezetők vizsgálatára.Más gépi látórendszer-alkatrészekkel kombinálva mély ultraibolya hullámhosszú fényt használnak az ostyák és maszkok vizsgálatára, hogy elérjék a szükséges nagy sebességet és felbontást.
A metrológia és az ellenőrzés fontos a félvezető gyártási folyamat irányítása szempontjából.A félvezető lapkák teljes gyártási folyamata 400-600 lépésből áll, amelyeket egy-két hónap alatt hajtanak végre.Ha bármilyen hiba lép fel a folyamat korai szakaszában, az ezt követő feldolgozásnak nincs értelme.
A hibák észlelése és helyük meghatározása (pozíciókoordináció) az ellenőrző berendezések elsődleges feladata.A gépi látólencsék megfogják a helytelen vagy rossz alkatrészeket, mielőtt nagyobb szerelvényekbe építenék őket.Minél hamarabb észlelhetők és eltávolíthatók a gyártási folyamatból a hibás tételek, annál kevesebb hulladék keletkezik a folyamatban, ami közvetlenül javítja a hozamot.A kézi felügyeleti és ellenőrzési módszerekhez képest a kiváló minőségű optikai lencsével rendelkező automatizált gépi látórendszerek gyorsabbak, fáradhatatlanul működnek, és egyenletesebb eredményeket produkálnak.