2/3''masini va'ai tioataose fa'asologa o tioata maualuga fa'ai'uga fa'atasi ma le fa'amauga C.Ua mamanuina e oʻo atu i le 2/3-inisi le masini ma tuʻuina atu le faʻailoga vaʻaia ma le maualalo o le faʻalavelave.
O neimasini va'ai tioatae mafai ona fa'aoga e su'esu'e semiconductor.Faʻatasi ma isi masini vaʻaia vaega o masini, latou te faʻaogaina le malamalama loloto o le galu o le ultraviolet e suʻesuʻe ai wafers ma masks e ausia ai le saoasaoa maualuga ma le iuga.
Metrology ma asiasiga e taua tele mo le puleaina o le gaosiga o le semiconductor process.E i ai le 400 i le 600 laasaga i le faagasologa atoa o le gaosiga o semiconductor wafers, lea e faia i le faagasologa o le tasi i le lua masina.Afai ei ai ni faaletonu e tupu i le amataga o le faagasologa, o le faagasologa uma mulimuli ane e le talafeagai.
O le su'eina o faaletonu ma le fa'ailoaina o latou nofoaga (tulaga tu'ufa'atasiga) o le matafaioi muamua lea a meafaigaluega asiasi.O tioata va'ai masini e pu'e ni vaega sese pe leaga a'o le'i fausia i ni fa'apotopotoga tetele.O le vave e mafai ona iloa ma aveese mea leaga mai se gaosiga, o le itiiti ifo o otaota i le faagasologa, lea e faʻaleleia saʻo ai fua.Pe a fa'atusatusa i metotia fa'ata'ita'i mo le mata'ituina ma le su'esu'eina, o masini fa'a-masini fa'ata'ita'i fa'atasi ma se tioata mata'utia maualuga e sili atu le vave, galue ma le le vaivai, ma maua ai fa'ai'uga faifai pea.