2/3″ vélsjónarlinsur

2/3''vélsjón linsaes eru röð af háupplausnarlinsum með C-festingu.Þau eru hönnuð fyrir allt að 2/3 tommu skynjara og veita sjónarsvið með lítilli bjögun.

Þessarvélsjón linsaes er hægt að nota til að skoða hálfleiðara.Í samsettri meðferð með öðrum íhlutum vélsjónkerfis nota þeir djúpt útfjólublátt bylgjulengdarljós til að skoða oblátur og grímur til að ná nauðsynlegum háhraða og upplausn.

Mælifræði og skoðun eru mikilvæg fyrir stjórnun á framleiðsluferli hálfleiðara.Það eru 400 til 600 skref í heildarframleiðsluferli hálfleiðaraflísa, sem eru tekin á einum til tveimur mánuðum.Ef einhver galli kemur fram snemma í ferlinu er öll síðari vinnsla ekki skynsamleg.

Að greina galla og tilgreina staðsetningu þeirra (staðsetningarsamhæfing) er aðalhlutverk skoðunarbúnaðar.Vélsjónarlinsur grípa ranga eða slæma hluta áður en þær eru byggðar inn í stærri samsetningar.Því fyrr sem hægt er að greina gallaða hluti og fjarlægja úr framleiðsluferli, því minni sóun í ferlinu, sem beinlínis bætir afraksturinn.Í samanburði við handvirkar aðferðir við eftirlit og skoðun eru sjálfvirk vélsjónkerfi með hágæða sjónlinsu hraðari, vinna sleitulaust og skila stöðugri niðurstöðum.