2/3''maskinsynslinsees er en serie høyoppløselige objektiver med C-fatning.De er designet for opptil 2/3-tommers sensor og gir vinkelvisningsfelt med lav forvrengning.
Dissemaskinsynslinsees kan brukes til å inspisere halvledere.I kombinasjon med andre maskinsynssystemkomponenter bruker de dypt ultrafiolett bølgelengdelys for å inspisere wafere og masker for å oppnå den nødvendige høye hastigheten og oppløsningen.
Metrologi og inspeksjon er viktig for styringen av halvlederproduksjonsprosessen.Det er 400 til 600 trinn i den totale produksjonsprosessen av halvlederskiver, som utføres i løpet av en til to måneder.Hvis det oppstår feil tidlig i prosessen, gir ikke all den etterfølgende behandlingen mening.
Å oppdage defekter og spesifisere deres plassering (posisjonskoordinering) er den primære rollen til inspeksjonsutstyr.Maskinsynslinser fanger opp feil eller dårlige deler før de bygges inn i større enheter.Jo raskere defekte varer kan oppdages og fjernes fra en produksjonsprosess, jo mindre avfall i prosessen, noe som direkte forbedrer utbyttet.Sammenlignet med manuelle metoder for overvåking og inspeksjon, er automatiserte maskinsynssystemer med en optisk linse av høy kvalitet raskere, fungerer utrettelig og genererer mer konsistente resultater.