2/3''обектив за машинно зрениеes са серия от обективи с висока разделителна способност с байонет C.Те са проектирани за до 2/3-инчов сензор и осигуряват ъглово зрително поле с ниско изкривяване.
Тезиобектив за машинно зрениеes може да се използва за проверка на полупроводници.В комбинация с други компоненти на системата за машинно зрение, те използват дълбока ултравиолетова светлина с дължина на вълната, за да инспектират пластини и маски, за да постигнат необходимата висока скорост и разделителна способност.
Метрологията и инспекцията са важни за управлението на производствения процес на полупроводници.Има 400 до 600 стъпки в цялостния процес на производство на полупроводникови пластини, които се предприемат в рамките на един до два месеца.Ако някакви дефекти възникнат в началото на процеса, цялата последваща обработка няма смисъл.
Откриването на дефекти и уточняването на тяхното местоположение (координиране на позицията) е основната роля на оборудването за проверка.Лещите за машинно зрение улавят неправилни или лоши части, преди да бъдат вградени в по-големи модули.Колкото по-рано дефектните елементи могат да бъдат открити и отстранени от производствения процес, толкова по-малко отпадъци в процеса, което директно подобрява добива.В сравнение с ръчните методи за наблюдение и проверка, автоматизираните системи за машинно зрение с висококачествени оптични лещи са по-бързи, работят неуморно и генерират по-последователни резултати.