2/3''maŝinvida lensoes estas serio de alta rezolucia lenso kun C-monto.Ili estas dizajnitaj por ĝis 2/3-cola sensilo kaj provizas angulan vidkampon kun malalta misprezento.
Tiuj ĉimaŝinvida lensoes povas esti uzata por inspekti duonkonduktaĵojn.Kombine kun aliaj maŝinvidsistemoj, ili uzas profundan ultraviola ondolongan lumon por inspekti oblatojn kaj maskojn por atingi la bezonatajn altan rapidon kaj rezolucion.
Metrologio kaj inspektado estas gravaj por la administrado de la semikonduktaĵproduktadprocezo.Estas 400 ĝis 600 ŝtupoj en la totala produktada procezo de duonkonduktaĵo-oblatoj, kiuj estas entreprenitaj en la daŭro de unu ĝis du monatoj.Se iuj difektoj okazas frue en la procezo, la tuta posta prilaborado ne havas sencon.
Detekti difektojn kaj specifi iliajn lokojn (pozicia kunordigo) estas la ĉefa rolo de inspekta ekipaĵo.Maŝinvidlensoj kaptas malĝustajn aŭ malbonajn partojn antaŭ ol ili estas konstruitaj en pli grandajn kunigojn.Ju pli frue tiuj misaj aĵoj povas esti detektitaj kaj forigitaj de produktada procezo, des malpli da malŝparo en la procezo, kiu rekte plibonigas rendimenton.Kompare kun manaj metodoj de monitorado kaj inspektado, aŭtomatigitaj maŝinvidsistemoj kun altkvalita optika lenso estas pli rapidaj, funkcias senlace kaj generas pli konsekvencajn rezultojn.