2/3″ vélsjónarlinsur

2/3″vélræn sjónlinsaes eru línu af hágæða linsum með C-festingu. Þær eru hannaðar fyrir allt að 2/3 tommu skynjara og bjóða upp á sjónsvið með litlum bjögun.

Þessirvélræn sjónlinsaHægt er að nota þær til að skoða hálfleiðara. Í samvinnu við aðra íhluti vélasjónkerfa nota þær djúp útfjólublá bylgjulengd ljóss til að skoða skífur og grímur til að ná þeim mikla hraða og upplausn sem þarf.

Mælifræði og skoðun eru mikilvæg fyrir stjórnun framleiðsluferlis hálfleiðara. Það eru 400 til 600 skref í heildarframleiðsluferli hálfleiðaraskífa, sem eru framkvæmd á einum til tveimur mánuðum. Ef einhverjir gallar koma upp snemma í ferlinu er öll síðari vinnsla tilgangslaus.

Að greina galla og tilgreina staðsetningu þeirra (staðsetningarsamræmingu) er aðalhlutverk skoðunarbúnaðar. Vélsjónarlinsur grípa ranga eða gallaða hluti áður en þeir eru settir saman í stærri samsetningar. Því fyrr sem hægt er að greina og fjarlægja gallaða hluti úr framleiðsluferli, því minni sóun verður í ferlinu, sem eykur beint afköst. Í samanburði við handvirkar aðferðir við eftirlit og skoðun eru sjálfvirk vélsjónarkerfi með hágæða sjónlinsum hraðari, vinna óþreytandi og skila samræmdari niðurstöðum.